電子級三苯基硫全氟丁烷磺酸鹽是一種高純度的有機硫化合物，具有出色的熱穩定性和化學穩定性。該化合物由三苯基硫陽離子和全氟丁烷磺酸根陰離子組成，是一種強酸性光酸生成劑（PAG），主要應用于深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻工藝中。由于其優異的光化學反應性和低金屬雜質含量，該產品特別適合用于高精度光刻膠和抗蝕劑的配方，能夠顯著提高圖形分辨率和顯影性能。

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【物理性質】

1.基本性質

分子式：C₂₂H₂₅NF₁₀S₃O₄

分子量：643 g/mol

外觀：白色或淺黃色結晶粉末

純度：≥99.5%

2.溶解性

易溶于極性有機溶劑，如乙腈、丙酮和二氯甲烷。

在水中溶解度較低，但在混合溶劑體系中表現出良好的溶解性。

3.熱穩定性

熱分解溫度高（＞250°C），適用于高溫條件下的光刻工藝。

需存儲在干燥、陰涼環境，避免長時間暴露于空氣和濕氣中。

【應用領域】

1.光酸生成劑（PAG）

作為先進光刻膠的光酸生成劑，在深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻中表現優異，能夠在曝光后釋放強酸，從而提升顯影效率和圖形保真度。適用于高分辨率和高靈敏度的光刻膠配方，有助于實現精細圖形結構。

2.抗蝕劑和光刻膠

用于高性能抗蝕劑和光刻膠的配方中，提升材料的光敏性能和耐化學蝕刻性能。在微電子加工中，提供卓越的顯影性能和邊緣分辨率，適用于先進的芯片制造。

3.電子材料添加劑

作為電子材料中的功能性添加劑，提升薄膜的機械強度和耐熱性能。廣泛應用于半導體器件、顯示器和光電子器件的制造中，提高產品性能和穩定性。

電子級三苯基硫全氟丁烷磺酸鹽憑借其高純度和出色的光化學性能，成為現代光刻和電子材料領域的重要化學品，支持高精度和高可靠性的加工工藝。