電子級1-(2-氧代-2-苯乙基)四氫噻吩鎓1,1,2,2,3,3,4,4,4-九氟丁烷磺酸鹽是一種高純度光敏化合物，廣泛應用于光刻膠材料及微電子加工領域。其分子設計結合了噻吩鎓離子的優異化學穩定性與九氟丁烷磺酸根的強親電性，能夠在光刻過程中生成高活性的酸，滿足高分辨率和低缺陷率的生產需求，是先進制程光刻工藝中的重要助劑。

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【物理性質】

基本性質

化學名稱：1-(2-氧代-2-苯乙基)四氫噻吩鎓1,1,2,2,3,3,4,4,4-九氟丁烷磺酸鹽

分子式：C₁₆H₁₅F₉O₄S₂

分子量：506.4 g/mol

外觀與溶解性

外觀：白色至淺黃色粉末或晶體

溶解性：易溶于乙腈、丙酮等有機溶劑，不溶于水

熱穩定性與儲存條件

熔點：約160℃

儲存條件：密封避光儲存，建議溫度范圍為0-10℃，防止受潮和分解

【應用領域】

光刻膠材料

作為光刻膠的產酸劑，在紫外（UV）和深紫外（DUV）光刻工藝中具有卓越性能。

（1）提高光刻膠的光敏響應速度和顯影精度。

（2）改善光刻圖案的清晰度和邊緣直線性。

半導體制造

用于先進制程工藝（如EUV和高精度UV光刻）中，支持微米及亞微米級圖案轉移。

（1）優化刻蝕過程中的酸生成效率，提高工藝一致性。

（2）適用于晶圓、封裝等關鍵領域的精密制造。

功能性涂層與光敏材料

在高分辨率顯示面板和傳感器的制造中，提供穩定的化學與光學性能。

（1）增強涂層材料的光敏特性，滿足多種精密加工需求。

（2）為光學元件加工提供高效的光敏化學解決方案。